| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493672 | ||
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 492736 | |||
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491975 | ||
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491983 | ||
| Ultrapräzisionstechnik II | Vorlesung | 484370 | Di 16:30-18:00 t.b.d. (×15) | |||
| Ultrapräzisionstechnik II | Übung | 484946 | Di 14:30-16:00 t.b.d. (×15) |